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后。”

    曲燕秋的几句话说完,屋里的几个人,都是一副恍然大悟状。

    MEMS的真正爆发,居然起源于一个简单的,所有人都闻所未闻的工艺改良。这个闻所未闻,指的是事后闻所未闻,而不是事前。

    “你的意思,我明白了。”

    陈泉也听懂了。

    利用深硅刻蚀工艺产生的高深宽比,能够显著增加传感面积,提供更高的验证质量,降低弹簧构件的刚度,提高电容的灵敏度,从而提升MEMS传感器的性能。

    牺牲层技术,是MEMS概念化的重要推手,深硅刻蚀工艺,才是MEMS商品化的决定性武器。

    “但我的竞赛怎么办?”

    “什么竞赛?”

    林书强和其他人一样,都把头扭过来。

    “这是我们之间的一个约定,要尽早拿到CNS论文。在科研工作者这条路上,尽快登顶。”

    曲燕秋随口解释了一下。然后重新看向陈泉。“你那里不是还有一个备选方案吗?”

    “备选吗?”

    陈泉陷入了沉思。

    除了传感器,蓝光LED之外,陈泉在记忆里还看到了一些概念性的草图。奇怪的是,这些草图并没有被付诸实施。

    “行,可以先用备选方案。”想了良久,陈泉终于点头。

    这个备选方案,必须靠自己的真实能力来完成了。

    ......

    “你们居然在CNS上还有备选方案?”

    王工只能惊叹了。“像你们这样,如此上进的年轻人,真是不多了。”

    经过几轮亲身讨论,他对不到16岁的年轻学生,印象大反转。

    不谈年龄,仅仅学生期间,就敢向CNS挑战的,他都没见过几个。这两个年轻人,不但有上进心,而且有实现上进心的能力。

    “是啊,是啊。”

    主人们纷纷附和。

    “那......”

    林书强转向了王工。

    王工想了一会。MEMS从概念到投产,至少要三年时间,算是个折中。而且产品出来以后,肯定还是自己人先试用。加上西德有类似研究的压力......

    “可以,我这边,原则上没有问题。”

    这次就是正式的承诺了。“MEMS传感器项目我们会支持的。我们可以分担部分的科研经费。生产就不介入了。”

    虽然说,航天系统有自己的芯片厂,但这些芯片厂的任务已经相当饱满。

    其次,集成电路和MEMS在工艺上有很大的区别。将一个成熟的IC厂,转型去做MEMS的风险,实在太大了,甚至大到了不可能。

    与其转型,不如彻底重建。

    “那冰飞方面呢?”

    林书强,又看向了孙厂长。

    “我回去之后,会立刻把此事向李总和集团公司汇报。你们等我的好消息吧。”

    孙厂长十分兴奋。

    这次的MEMS项目审查会,不但看到了更多,更有价值的信息,而且有人肯分担风险。

    除此之外,还得到了航天市场的包票,甚至国际上的卫星市场,也可以照亮一下。

    卫星市场如此,那飞机零部件市场呢?

    同样道理,汽车零部件呢?

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